產品解決方案
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特點:
1. 采用全封閉式鋁型材結構,將磁鐵及磁軛部分完全與靶筒內的冷卻水分隔開,避免因長期浸水腐蝕引起的磁場變化
2. 型材式結構大幅加強了磁鋼的剛性,避免磁鋼變形與靶筒發生摩擦產生的磁場變化
3. 磁場調整結構采用螺紋式設計,使得磁場均勻性的調整更加精密
4. 出水孔的獨特設計使冷卻水有效冷卻濺射靶材的高溫區,冷卻效果更佳
5. 安裝維護簡易方便
類型
參數
MB3300
MB2540
MB1400
磁棒長度(mm)
3850
3192
1920
表面磁場強度
>550GS
磁場均勻性
≤±1.0%
磁場可調范圍
≤±25%
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類型
參數
MB3300
MB2540
MB1400
磁棒長度(mm)
3850
3192
1920
表面磁場強度
>550GS
磁場均勻性
≤±1.0%
磁場可調范圍
≤±25%